证券之星音讯,依据企查查多个方面数据显现永鼎股份(600105)新取得一项发明专利授权,专利名为“一种芯片的刻蚀工艺优化办法及体系”,专利申请号为CN9.2,授权日为2024年2月20日。
专利摘要:本发明揭露了一种芯片的刻蚀工艺优化办法及体系,触及芯片制造技能领域,该办法有:获取对方针芯片的刻蚀工艺参数来优化的刻蚀条件;构建湿法刻蚀工艺参数调整域,构建刻蚀优化函数;别离进行方针芯片的模仿湿法刻蚀,并获取模仿刻蚀后的多个尺度信息调集;构建模仿刻蚀的多个芯片沟道建模信息;核算取得多个引导习惯度和多个隶属习惯度;核算获取多个微步长;结合多个引导步长和多个微步长,进行迭代寻优直到到达预设寻优次数,取得最优刻蚀工艺参数,作为刻蚀工艺优化成果。本发明处理了现存技能使用湿法刻蚀进行芯片制造时存在刻蚀质量差,工艺优化功率低的技能问题,到达了进步芯片的刻蚀工艺优化功率,进步刻蚀质量的技能作用。
今年以来永鼎股份新取得专利授权10个,较去年同期增加了900%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研制方面投入了9925.12万元,同比增42.66%。
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