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同和光电请求红外LED芯片专利可优化芯片制造

来源:米乐m6/新闻    发布时间:2024-10-25 19:28:28
 

  金融界2024年10月22日音讯,国家知识产权局信息数据显现,深圳市同和光电科技有限公司请求一项名为“一种红外LED芯片的制造办法及其红外LED芯片”的专利,公开号CN 118763159 A,请求日期为2024年9月。

  专利摘要显现,本发明归于芯片制造范畴,触及一种红外LED芯片的制造办法,包含过程:在GaAs暂时衬底上顺次成长各层结构;在欧姆触摸层上选用光刻工艺制造花式粗化图形,选用干法ICP刻蚀或湿法刻蚀取得导电孔图形,保证刻蚀深度≥欧姆触摸层厚度;在导电孔上光刻P电极焊盘图形,蒸镀Cr‑Pt‑Au复合结构;将Wafer光刻掩膜构成切开道图形,并进行ICP刻蚀处理,构成P面管芯的阻隔;在过渡衬底上均匀涂覆一层固体蜡,进行暂时键合处理;在欧姆层外表,使用电子束蒸发堆积方法堆积N电极金属,构成N电极;在N电极上电镀一层金属Cu作为支撑衬底。

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